螺桿泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉，從而產生的吸氣和排氣作用的一種抽氣設備，干式螺桿泵可滿足用戶的多樣使用要求。螺桿真空泵的兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間有一定間隙，所以當泵工作時，相互之間不會產生磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，所以螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。

真空系統已經廣泛應用于鍍膜、光學、化工、醫療器械、核能、航空等科學領域和工業制造領域，真空系統的好壞直接決定著所生產產品的質量、精度和可靠性，科學研究結果的準確性和成功與否。真空獲得設備作為真空環境的動力源，相當于真空系統的“心臟”，直接影響著整個真空環境的穩定性、可靠性和其他性能。選擇真空獲得設備時需要考慮到真空獲得設備的適用工況、真空系統的真空度要求以及特殊氣體等諸多因素，只有選擇合理的真空獲得設備才能保證真空系統正常運作。眾多真空獲得設備中干式真空泵具有環保節能、穩定性高、泵腔內無油、結構緊湊等諸多優點，是真空獲得設備中重要的一類。其中干式螺桿真空泵保證泵腔內無油或其他工作介質這一重要特點，解決了大多數真空獲得設備正常工作狀態下，泵腔內的潤滑油脂或其他工作介質由于返流和物理擴散進入所抽容積內，致使真空室受到污染這一現象的發生，被廣泛運用于半導體、化工、藥品等工業制造領域。

2019年沃爾姆真空泵參加第十八屆中國國際化工展覽會-向國內外展示國產真空泵的技術與實力

雖然干式螺桿真空泵的種類越來越多，但是通常的機械真空泵如爪式泵，其抽速難以做大，而且制造難度也大，成本高;另外還有利用多葉級數進行串連的羅茨泵，其缺點與爪式泵相仿。在此種背景下誕生的干式螺桿真空泵則具有了其前輩真空泵類所不具各的很多優點，而這些優點則保證了干式螺桿真空泵的先進性及在應用中的優勢。

目前國內外關于干式螺桿真空泵轉子型線設計方面的報道很少，主要內容集中于對螺桿真空泵性能的預測與配套裝置、材料、加工方法設備、螺桿泵的配件、密封條件等等內容的改進。

目前由于各國多對自己的干式螺桿真空泵技術進行保密和競爭，而我國在螺桿泵的設計方面雖然有很多具體的細節和技術難題還沒有解決，在螺桿泵的設計方面努力比肩世界一流水平。在具體的螺桿泵的加工制造上，局限于我國的生產設備和加工條件，我國生產的螺桿泵自動化程度不高，精度也不高，在一些高檔的螺桿泵上仍不能獨立制造。因此中高檔的真空泵仍然主要依賴于進口。

對于所有類型的真空泵，人們都希望能夠將現有的真空泵的物理尺寸盡量減小。但是這一點與真空泵的抽氣速率相矛盾。因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當然還有一個影響真空泵抽氣速率的因素，那就是轉速。為了使小尺寸的真空泵與大尺寸的真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高其轉速。而想要提高真空泵的轉速可以采用變頻器來改變電源的頻率或者改變齒輪箱的傳動比。前者可以提供一個閉環控制，但是在大負載的情況下容易引起扭矩的損失。而改變齒輪箱的傳動比是比較經濟的一種方法，但是它只能提供不可控的單一轉速。國外目前開發較多的是高轉速的真空泵系列。

當前國內生產的真空獲得設備仍然以傳統的真空泵為主，主要為水環真空泵、旋片真空泵、蒸汽流泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵，且全部用于傳統行業。我國生產的干式螺桿真空泵真正用于集成電子電路信息產業的不足1%。相比于日本、歐美等發達國家差距巨大。我國的干式真空泵正處于起步階段，全國200多家生產真空泵的企業中，能夠生產干式真空泵的企業不超過10家，難以形成批量生產。

國產干式螺桿真空泵大部分應用于實驗室、化學、醫療等領域，很少有國產干泵應用于半導體行業。究其原因一方面半導體的生產過程中會產生大量粉塵，處理不好容易造成干泵卡死，尤其刻蝕工藝多用腐蝕性氣體，會對干泵內部零件造成腐蝕，造成漏油、毒氣泄漏等事故。若干泵故障多發，對半導體集成電路生產造成的損失巨大。國產干泵的可靠性還不能解決上述問題。近年來，隨著國內經濟轉型，半導體電子信息產業在國內的飛速發展，但國內干式螺桿真空泵的發展沒有跟上，使該領域成為國際上干式真空泵工業發達國家的擴張之地。國內生產的干式真空泵想要進入該領域十分艱難，使得干式螺桿真空泵這個未來真空獲得設備的主導產品在國內的處境十分艱難，造成此狀況的主要原因是我國干式螺桿真空泵的起步晚，絕大部分市場已經被國外產品占領。國內干式螺桿真空泵除了價格優勢，在加工、材料、設計創新都難以與國外品牌競爭。尤其可靠性方面更是與國外同類產品存在差距。

目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統無法滿足清潔無油的耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大，真空獲得產品已經出現更新換代的局面，大量的有油真空系統已經被無油清潔的真空系統所代替。真空泵是一個量大面廣的產品，產量很大，產值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。目前國外制藥精細化工行業干式螺桿真空泵占全部真空泵的60%左右，目前國內在此行業只占到10%-20%，而且隨著環保形勢的嚴峻化，這一比例還在不斷上升。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎，國產真空泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證有些泵還出口國外得到國外用戶的認可并受到好評應該說我國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。

液環泵

雖然液環泵屬于粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵。由于液環泵大部分是鑄件加工要求也不高屬勞動密集型產品所以國產液環泵在價格上有競爭優勢。

干式真空泵

國外干式真空泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、制藥、薄膜產業的迅速發展。在日本半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。據統計目前國產干式螺桿真空泵的應用占比大約在10%-20%，隨著我國環保形勢日趨嚴峻，這一比例將在新建項目中將不斷擴大。例如：從沃爾姆干式螺桿真空泵的每年銷售數量上看，一直處于增長上升中。

干式螺桿真空泵國內的研究還處在起始階段，很多技術難題還沒有解決。比如轉子涂層防腐蝕技術，降低排氣口的溫度，增大轉子面積利用率等問題仍然很棘手，當抽取一些活潑氣體時，由于排氣溫度高，安全性也是需要設計中考慮的，用在需要控制音量的場合，如何降噪也要成為研究方向，但其優越的性能決定了它一定會在真空獲得設備行業占主導地位，就像現在螺桿壓縮機在行業內的統治地位一樣。

總結：近兩年，我國格外重視攻克“卡脖子”技術，在真空泵行業的領域里大力發展國產干式螺桿真空泵。2019再度奮起直追，我國逐漸減少螺桿泵對進口的依賴。